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日本COSMOS新宇宙PS-7多種氣體檢測器PS-7-M半導體材料氣體檢測儀
產品名稱

產品名稱:多種氣體檢測器/半導體材料氣體檢測儀

品牌:日本COSMOS新宇宙

型號:PS-7 PS-7-M

產品簡介
產品主機選型
PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設備網絡)搭載方式;
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
氣體/傳感器單元選型
PF3CDS-7,10ppm; SiH4,5/25ppm; PH3,1ppm; B2H6,500ppb; AsH3250ppb;
H2CHS-7,500/1000ppm,熱線型半導體式;        H2Se,250ppb; Si2H625ppm
O2COS-7,25vol%,伽代尼電池式;  GeH4,1ppm; NH3,100ppm;  SiH2CL2,25ppm;
NF3,100ppm,定電位電解式(用于轉換器單元);     H2S,50ppm;   CO,250ppm;
CCl4,100ppm,定電位電解式(用于轉換器單元);    CL2,5ppm;    CLF3,1ppm;
HF,10ppm,定電位電解式; F2,5ppm; 鹽酸,5/25ppm; 氫溴酸,10ppm; O3,1ppm;
產品詳情
日本COSMOS新宇宙PS-7多種氣體檢測器PS-7-M半導體材料氣體檢測儀
產品主機選型
PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設備網絡)搭載方式;
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
氣體/傳感器單元選型
PF3CDS-7,10ppm; SiH4,5/25ppm; PH3,1ppm; B2H6,500ppb; AsH3250ppb;
H2CHS-7,500/1000ppm,熱線型半導體式;        H2Se,250ppb; Si2H625ppm
O2COS-7,25vol%,伽代尼電池式;  GeH4,1ppm; NH3,100ppm;  SiH2CL2,25ppm;
NF3,100ppm,定電位電解式(用于轉換器單元);     H2S,50ppm;   CO,250ppm;
CCl4,100ppm,定電位電解式(用于轉換器單元);    CL2,5ppm;    CLF3,1ppm;
HF,10ppm,定電位電解式; F2,5ppm; 鹽酸,5/25ppm; 氫溴酸,10ppm; O3,1ppm;
技術參數:
檢測對象氣體:更換傳感器,能夠檢測各種氣體
檢測方式:自動吸引式
檢測原理:定電位電解式/熱線型半導體式/隔膜伽伐尼電池式、熱分解+定電位電解式
類型:標準型或附帶轉換器組件型
檢測范圍:根據規格而定;
采樣配管:特氟隆外徑6內徑4mm,配管距離在20m以內
氣體濃度顯示液晶數字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖
報警接點:氣體報警(紅色液晶指示燈閃爍,液晶畫面,1段ALARM1,2段ALARM1、ALARM2顯示);
     流量降低報警(堵塞顯示流量為低速運轉,黃色LED指示燈閃爍,液晶畫面FLOW及流量顯示為停止運轉狀態);
傳感器故障報警/傳感器誤插入報警(黃色LED指示燈閃爍,液晶畫面SENS顯示);
熱分解爐斷線報警僅限帶有轉換器單元(黃色LED指示燈閃爍,液晶畫面CONV顯示,)
連接方式:PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設備網絡)搭載方式、
          PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
外部輸出:氣體濃度模擬輸出DC4~20mA(與電源的負極通用)
         氣體報警接點(1段以及2段)1a無電壓接點/自動復位
         故障報警接點(開路集電極/自動復位)
適用電纜線:控制用屏蔽電纜線直徑8~11mm 3芯或者4芯
使用溫濕度范圍:0~+40℃,30~85%RH(無結露現象)
電源:DC24V±10%
消耗電力:約7W
外形尺寸:W62xH124xD143mm(突出部分除外)
重量:約1.0kg
安裝方法:壁掛式
產品說明:
PS-7是一款通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體,可通過PDA讀取數據。通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器;傳感器經過校準和交付,無需現場氣體校準。此外,無需工具即可輕松更換傳感器;小巧·輕便的設計;通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報警狀態和錯誤信息;采樣流量的自動控制功能;當插入與設置不同的傳感器時,傳感器具有防止錯誤插入的功能;通過連接PDA,可以獲取存儲在檢測單元中的數據;轉換器單元(選件)可用于檢測NF3和CCl2;符合CE標準;符合SEMI標準。產品用于石油化工、半導體制造等。
備注說明:
1.推薦使用特氟龍。但是如果是吸附性較強的氣體時,根據使用情況的不同也將有所差異,因此,請向本公司進行咨詢。產品有可能改進而對上述規格進行修改,對此恕不預先通知用戶。
2.僅限于附帶轉換器件的產品。